新型热偶微波功率传感器

摘要

本文报导一种新型微桥结构热偶型微波功率传感器的设计、计算机模拟以及制作.通过有限元模拟软件,对传感器在不同输入功率下的热学特性进行了分析.分析结果表明新型微桥结构减少热传导通路,有效提高热偶冷热结温差,增加灵敏度,而且还减少热偶的热容,因而提高了响应速度.器件采用MEMS工艺研制,并进行了测试,实验结果与理论符合较好.