微梁结构热偶微波功率传感器的灵敏度分析

摘要

在微波技术研究中,微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数.微波功率测量已成为电磁测量的重要部分,可应用于很多场合,如发射机输出功率(包括天线系统辐射的功率)和振荡器输出功率的测量,毫瓦计的校准,标准信号发生器的校准等.微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件.微梁结构热偶微波功率传感器选择具有低电阻温度系数的Ta2N和高热电功率塞贝克系数的Si作为热偶材料,利用半导体工艺和MEMS工艺制作.器件获得了比薄膜结构更高的灵敏度,并且具有动态范围大、零点漂移小等特点,此结构已有多种形式.着重从理论上分析了MIS结构对该传感器灵敏度的影响,并提出了一种新的结构设计,以进一步提高器件性能.