极紫外、软X射线和X射线多层膜技术

摘要

本文首先介绍了极紫外与软X射线多层膜光学技术的研究意义和主要进展。然后，给出作者在软X射线多层膜分束镜和X射线超反射镜方面的研究，给出相应的实验结果。