首页> 外文期刊>Успехи физических наук: УФН >ПРЕЦИЗИОННАЯ ИЗОБРАЖАЮЩАЯ МНОГОСЛОЙНАЯ ОПТИКА ДЛЯ МЯГКОГО РЕНТГЕНОВСКОГО И ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДИАПАЗОНОВ
【24h】

ПРЕЦИЗИОННАЯ ИЗОБРАЖАЮЩАЯ МНОГОСЛОЙНАЯ ОПТИКА ДЛЯ МЯГКОГО РЕНТГЕНОВСКОГО И ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ДИАПАЗОНОВ

机译:适用于软X射线和极紫外光的精密成像多层光学器件

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2-60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений (пространственное разрешение единицы/десятки нанометров) и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными (10~(20) - 10~(23) В_(т см)~(?2)) электромагнитными полями. Сообщается о состоянии этих исследований в мире и о последних разработках в этой области, проводимых в Институте физики микроструктур (ИФМ) РАН.
机译:这项工作致力于制造和测试的基本问题,以及在2-60 nm光学器件的波长范围内的应用,提供衍射图像质量(单位分辨率/数十纳米的空间分辨率),并且需要投影光刻,X射线显微镜,天体物理学以及相互作用领域的基础研究具有超强(10〜(20)-10〜(23)B_(t cm)〜(?2))电磁场的物质(真空)。据报道,世界上这项研究的现状以及在微结构物理研究所(IPM)RAS上进行的该领域的最新发展。

著录项

获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号