基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

摘要

介绍了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程，分析了制备的技术关键，试验优选了关键制备环节的工艺参数。试验结果表明：采用优化的工艺条件能低成本制备出形貌质量高、缺陷少的微型柔性镍接触探针。