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基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术

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摘要

采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件.新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工.

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来源
《中国机械工程》|2005年第14期|1233-12341242|共3页
作者
金鹏; 谭久彬;
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作者单位

哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001;

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正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;液体推进剂火箭发动机;
关键词
UV-LIGA; 陶瓷微加工技术; 微型火箭; 微型动力系统; 高温特性;
入库时间 2022-08-18 00:41:40

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