文摘
声明
1 绪论
1.1课题研究的背景
1.2微型腔制作中UV-LIGA工艺的研究现状
1.3微型腔制作中电火花加工技术的研究现状
1.4本论文的主要研究内容
2 二维微型腔的制作工艺研究
2.1 SU-8胶光刻工艺研究
2.2微电铸镍工艺研究
2.3二维微型腔的测量
2.4本章小结
3 电火花加工理论基础
3.1 电火花加工原理
3.2 电火花加工中的电极损耗
3.3微小面积电火花加工特征分析
3.4本章小结
4三维微型腔的电火花成形加工实验研究
4.1 侧壁倾斜结构微型腔制作的实验研究
4.2 圆弧结构微型腔的电火花成形加工实验探索
4.3 本章小结
5影响电火花加工表面粗糙度的因素分析及实验研究
5.1 影响表面粗糙度的脉冲参数
5.2影响表面粗糙度的工艺因素
5.3 倾斜侧壁表面粗糙度的测量
5.4本章小结
结论
展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢