基于电化学加工的微钠探针制备技术

摘要

提出了基于液膜电化学加工原理制备尖锥形和大长径比探针的方法。分析了液膜电化学加工方法的机理,并采用静态液膜法制备出针尖曲率半径为40 nm的尖锥形探针,再通过动态液膜电化学加工方法,即在工件阳极施加往复直线运动的方法制备出具有大长径比的探针。对动态液膜法的成形机理进行了阐述,通过试验分析得出加工电压、电解液浓度、运动参数等对探针长径比和平均直径的影响规律,并制备出长径比达70、平均直径为300 nm的大长径比探针。