电化学加工硅微通道生长动力学特性研究

摘要

硅微通道阵列因其具有特殊性结构而在很多方面诸如硅微通道板、微型化工仪器、微型生物芯片、微全分析仪等发挥其重要作用。近年来，MEMS技术的飞速发展带动了硅微通道朝着高效率、微型化的方向不断迈进，因此硅微通道结构其有着十分广阔的应用前景及研究价值，吸引了越来越多科研人员的足够重视。
　　硅微通道的制备工艺是从宏孔硅的制作工艺上发展而得到的硅微通道光电化学加工技术，此种工艺的优势在于其制备的硅微通道成本低廉、操作简便且易得到具有高长径比的硅微通道结构。
　　本文在深刻查阅硅微通道光电化学加工相关文献及著作的基础之上对硅微通道在电化学加工过程之中通道生长的速率作深入的理论分析与实验探究分析，得到了影响硅微通道生长速率这一动力学特性的相关因素包括光照强度、温度、HF浓度等。