硅微通道阵列红外发射特性研究

摘要

目前，市面上可以买到几种微型热辐射源，但由于它们的发射率小而无法和理想的黑体热辐射源相比。增大表面的粗糙程度会得到较高的发射率，这为研制一种新型的微红外辐射源提供了一个途径。
　　本文设计了一种新型的硅微通道阵列结构红外光源的窗口，和以往MEMS红外光源不同的是引入二维规则的孔阵列，这种特殊的结构使窗口的的发射率增大。以n(100)硅为衬底，通过光电化学腐蚀的方法制备四种不同孔径的红外发射窗口，利用红外分光光度计测量发射窗口的反射光谱，研究发现该结构在中红外波段反射率减弱。同时对发射窗口的辐射特性进行分析，结果表明该结构在中红外波段有良好的吸收性，表现出一定的类黑体特性。