紫外光表面改性对PMMA芯片键合工艺的影响

摘要

键合是微流控芯片制作的关键技术之一。本文研究了PMMA的基片和盖片经过紫外光表面照射3h后，再浸入沸水中煮40min，可键合制成PMMA芯片。采用紫外光处理后的PMMA表面亲水性得到改善，并缩短了键合时间。