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薄膜非均匀性及其对增透膜性能的影响

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基非均匀膜理论提出的折射率分层模型,将非均匀膜层分为N个均匀子层,应用光学薄膜特征矩阵对其进行理论分析.应用膜系设计软件模拟ZrO2和CeO2的负非均匀性对增透膜光谱特性的影响.研究结果表明:负非均匀性使多层增透膜的反射率增大,在参考波长处的光谱特性变差,使整个反射光谱曲线朝长波方向漂移,从而导致整个膜系的光谱特性偏离理想情形.

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来源
《2008中国兵工光学与光电子学学术交流会》|2008年|32-34|共3页
会议地点宜昌
作者
贺祥清; 王平秋; 刘琼; 薛锦; 于清;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 O484.41;
关键词
薄膜光学; 负非均匀性; 增透膜; 光谱特性; 非均匀膜;
入库时间 2022-08-17 11:00:22

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