北京大学研制离子注入表面钝化全耗尽硅探测器的主要性能指标

摘要

北京大学微电了所和空问物理与应用技术研究所研制的离了注入表面钝化全耗尽硅探测器性能指标稳定、可靠，具备了批量生产能力，欢迎用户使用。目前达到性能指标的有两大系列，本文简单介绍了北京大学研制的离子注入表面钝化全耗尽硅探测器的主要性能指标。