基于晶格失配外延层应变效应自组装制作三维微纳米结构

摘要

微光机电系统(MOEMS)是当今技术领域研究的热点之一，它采用先进的半导体工艺，将具有信号处理功能的智能机械结构与光电子器件集成在一块芯片中，可以制作种类繁多的微型器件，实现多种功能。本文介绍了自组装制作技术有限元方法模拟。