基于ANSYS的电容位移传感器设计

摘要

本文建立了单片式电容位移传感器的三维仿真数学模型,运用ANSYS软件对不同参数的传感器进行了仿真,比较分析了电极间距、电极长宽比、被测物距离等对传感器灵敏度的影响,为单片式电容位移传感器的结构设计提供了依据。