基于ANSYS的电容位移传感器设计

摘要

建立了单片式电容位移传感器的三维仿真数学模型，运用FEA软件对不同参数的传感器进行了仿真，比较分析了电极间距、电极长宽比、被测物距离等对传感器灵敏度的影响，结果表明，测量系统的灵敏度与电极宽度和电极长度间隙比近似成正比，和被测物距离近似成反比。本研究对电容位移传感器的结构设计有指导意义。为单片式电容位移传感器的结构设计提供了依据。