一种可同时测量位移和角度的电容式传感器设计

摘要

提出了一种可同时测量位移和角度的变面积式差动电容传感器的设计方案.位移测量范围为-50～50mm,准确度可达0.2mm,角度测量范围为0～180°,准确度可达0.5°.通过在结构上采用介质差动法,该传感器克服了边缘效应的影响,具有测量范围宽、线性度良好、受温度影响小等优点.