冰乙酸对超声喷雾热分解法制备ZnO：In影响

摘要

采用超声喷雾热分解法，在eagle 2000村底上制备出In掺杂znO薄膜(ZnO：In)。通过EDS测量薄膜中[In]/[Zn]原子比、电学特性和结构特性的分析，研究了不同冰乙酸掺入量对不同In掺杂比的ZnO：In薄膜特性的影响。前驱液中加入适量的冰乙酸有利于ln掺入到ZnO薄膜中。当1at％In掺杂、冰乙酸掺入量为0.1时获得的薄膜具有较为规则三角块状颗粒的表面形貌，同时电学特性较好：电阻率7.14×10-3Ωcm、迁移率7.27 cm2V-1s-1、载流子浓度1.203×1020cm-3;当2at％In掺杂、冰乙酸掺入量为0.18时能够电学特性较好的薄膜：电阻率6.82×10-3Ωcm、迁移率7.25 cm2V-1s-1、载流子浓度1.262×1020m-3。