多压电层对薄膜体声波传感器谐振特性的影响

摘要

目前，关于薄膜体声波传感器的研究还局限于单层压电薄膜的声波激发结构。为提高激发频率，要求很薄的单层压电薄膜，这容易造成压电薄膜上下电极短路。此外，在液体环境中，单层压电薄膜的声波激发效率较低，且传感工作模式的谐振品质因子不高，这些都严重影响传感器的工作稳定性和检测灵敏度。为克服以上不足，本文将针对三明治型薄膜体声波传感器，通过对多层压电薄膜激发体声波的传感器进行分析，研究两层压电薄膜和三层压电薄膜的激发声波谐振特性，并对其主要性能指标（如：谐振频率，谐振品质因子等）进行考察。