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鄂羽佳; 陆晓欣; 王建东; 朱嘉琦;
哈尔滨工业大学 哈尔滨 150001;
固贴式薄膜体声波谐振器; 压电薄膜; 磁控溅射; 压电系数;
机译:压电薄膜的材料特性与薄膜体声波谐振器的器件特性之间的关系
机译:压电/超声波材料:AlN薄膜通过反应性溅射,应用薄膜体弹性波谐振器的制造(FBAR)
机译:压电薄膜和电极材料对薄膜体声波谐振器特性的影响
机译:基于顺电薄膜的本征可开关体声波谐振器
机译:基于MEMS的系统,用于使用薄膜体声波谐振器和IR / UV光学判别进行粒子暴露评估。
机译:界面钝化对固溶处理ZnO薄膜晶体管的电性能稳定性和接触性能的影响
机译:生长条件对BiFeO3-0.33BaTiO(3)薄膜微观结构和体声波谐振器性能的影响
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)
机译:使用制造方法的薄膜体声波谐振器电路和滤波器的薄膜体声波谐振器滤波器
机译:薄膜体声波谐振器,滤波器和通信设备以及包括其的薄膜体声波谐振器的制造方法
机译:薄膜体声波谐振器的制造方法及薄膜体声波谐振器
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