公开/公告号US11674850B1;US2023011674850B1;US11674850B1;US11674850
专利类型
公开/公告日2023-06-13
原文格式PDF
申请/专利号US17230159;US202100017230159;US202117230159A;US202117230159
发明设计人
申请日2021-04-14
分类号G01J5/24;G01J5/08;H01L31/0232;H01L31/09;H01L27/146;G01J5/20;
国家
入库时间 2024-06-14 23:58:33