公开/公告号US11152130B2
专利类型
公开/公告日2021-10-19
原文格式PDF
申请/专利号US201716325936
发明设计人 AKINTUNDE I. AKINWANDE;BERTHOLD KLAUS PAUL HORN;RICHARD C. LANZA;GEORGE BARBASTATHIS;RAJIV GUPTA;JONAH JACOB;
申请日2017-08-15
分类号G01N23/04;G01N23/083;H01J35/12;H01J35/18;H01J35/06;G21K7;G01N23/044;H01L21/66;G01N23/041;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:44:49