公开/公告号WO2018035171A1
专利类型
公开/公告日2018-02-22
原文格式PDF
申请/专利号WO2017US47030
发明设计人 AKINWANDE AKINTUNDE I.;HORN BERTHOLD KLAUS PAUL;LANZA RICHARD C.;BARBASTATHIS GEORGE;GUPTA RAJIV;JACOB JONAH;
申请日2017-08-15
分类号G01N23/04;H01J35/06;H01L21/66;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:45:36