公开/公告号EP3740306A4
专利类型
公开/公告日2021-10-13
原文格式PDF
申请/专利号EP20190738729
申请日2019-01-15
分类号B01J10;C23C16/30;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/54;C30B25/02;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/40;C30B29/42;H01B1/06;H01L31/0735;H01L31/18;
国家 EP
入库时间 2022-08-24 21:39:37