公开/公告号US11101136B2
专利类型
公开/公告日2021-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201916416865
发明设计人 DONGQING YANG;TIEN FAK TAN;PETER HILLMAN;LALA ZHU;NITIN K. INGLE;DMITRY LUBOMIRSKY;CHRISTOPHER SNEDIGAR;MING XIA;
申请日2019-05-20
分类号H01L21/3065;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/3105;H01L21/311;
国家 US
入库时间 2022-08-24 20:44:28