公开/公告号WO2021061277A1
专利类型
公开/公告日2021-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2020US44663
发明设计人 DAI HUIXIONG;BANGAR MANGESH ASHOK;SHAH PINKESH ROHIT;NEMANI SRINIVAS D.;WELCH STEVEN HILOONG;NGAI CHRISTOPHER SIU WING;YIEH ELLIE Y.;
申请日2020-07-31
分类号G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:03:23