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MEMS DEVICE

机译:MEMS设备

摘要

A MEMS device that includes a substrate including an element and a connection wiring electrically connected to the element, and a connection portion electrically connected to the connection wiring. The connection portion is formed of a eutectic alloy of a first metal and a second metal. A line width of the connection wiring is smaller than a width of the connection portion when a main surface of the substrate is viewed in a plan view.
机译:包括基板的MEMS装置,包括元件和电连接到元件的连接布线,以及电连接到连接布线的连接部分。连接部分由第一金属和第二金属的共晶合金形成。当在平面图中观察基板的主表面时,连接布线的线宽小于连接部分的宽度。

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