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device for manufacture of semiconductor material by thermal decomposition of a gasfoermigen connection and process for operating the device

机译：通过气致雌激素连接的热分解来制造半导体材料的装置和操作该装置的方法

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机译：

著录项

  • 公开/公告号DE000001205057A

    专利类型

  • 公开/公告日1965-11-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SIEMENS AG;

    申请/专利号DES0073920A

  • 发明设计人 RUMMEL DR THEODOR;HENKER DR HEINZ;

    申请日1961-05-12

  • 分类号

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-23 15:06:57

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