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机译:电子显微镜中电子束强度的测量和材料的辐照装置
公开/公告号US3446960A
专利类型
公开/公告日1969-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 NASA USA;
申请/专利号USD3446960
发明设计人 ALFRED G. EUBANKS;THOMAS P. SCIACCA;
申请日1965-08-30
分类号H01J37/26;
国家 US
入库时间 2022-08-23 11:42:26
机译: 活化室和套件,用于处理设备中以降低电子亲和力,包含所述成套工具并用于降低电子亲和力的处理设备,光电阴极电子束源,含电子枪的电子枪,含电子阴极的电子电极显微镜,扫描电子显微镜,电子束全息照相术,电子束光刻设备,电子束衍射设备和电子束扫描设备
机译: 活化室和套件,用于处理设备中以降低电子亲和力,包含所述成套工具并用于降低电子亲和力的处理设备,光电阴极电子束源,含有电子枪的电子枪,包含电子的电极,电阴极,电子电极显微镜,扫描电子显微镜,电子束全息照相术,电子束光刻设备,电子束衍射设备和电子束扫描设备