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机译：通过阴极溅射形成薄膜电阻的方法
公开/公告号US3477935A
专利类型
公开/公告日1969-11-11
原文格式PDF
申请/专利权人 UNION CARBIDE CORP.;
申请/专利号USD3477935
发明设计人 JOHN H. HALL;
申请日1966-06-07
分类号C23C15/00;
国家 US
入库时间 2022-08-23 10:29:02
机译： 电阻材料，形成电阻薄膜的溅射靶材，电阻薄膜和薄膜电阻器以及形成电阻薄膜的溅射靶材的制造方法和电阻薄膜的制造方法
机译： 电阻薄膜材料，电阻薄膜，形成相同薄膜的溅射靶以及薄膜电阻及其制造方法
机译： 用于形成的电阻薄膜溅射靶，薄膜电阻器，薄膜电阻器及其制备方法
