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Reliability Test Equipment for Semiconductor Devices and Test Methods Using the Same

机译:半导体器件的可靠性测试设备及其测试方法

摘要

The present invention relates to a reliability test equipment of a semiconductor device and a test method using the same. In the looping sequence except for the set threshold voltage measurement time, only the program and erase stress operations are repeated, thereby minimizing the operation of the switching means, thereby improving the test speed. The present invention relates to a reliability test equipment for a semiconductor device and a test method using the same for obtaining accurate test results.
机译:半导体装置的可靠性测试设备及其测试方法技术领域本发明涉及一种半导体装置的可靠性测试设备及其测试方法。在除了设置的阈值电压测量时间以外的循环序列中,仅重复编程和擦除应力操作,从而使开关装置的操作最小化,从而提高了测试速度。半导体装置的可靠性测试设备及测试方法技术领域本发明涉及一种半导体装置的可靠性测试设备及使用该设备的测试方法,以获取准确的测试结果。

著录项

  • 公开/公告号KR970048556A

    专利类型

  • 公开/公告日1997-07-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 김주용;

    申请/专利号KR19950065632

  • 发明设计人 김성래;손수용;

    申请日1995-12-29

  • 分类号G01R31/26;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 03:16:49

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