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机译:脉冲离子束辅助沉积
公开/公告号IL116876A
专利类型
公开/公告日1998-11-04
原文格式PDF
申请/专利权人 SANDIA CORPORATION;
申请/专利号IL116876
发明设计人
申请日1996-01-23
分类号6H01JA;
国家 IL
入库时间 2022-08-22 02:57:42
机译: 脉冲离子束辅助沉积