一种聚焦离子束辅助沉积结构轮廓确定方法

摘要

本发明公开了一种基于元胞自动机的聚焦离子束辅助沉积结构轮廓的计算方法，该方法包括：(S1)根据实验仪器的参数，确定基底表面前驱气体场的分布；(S2)根据实验加工选择的参数，计算在聚焦离子束照射区域内，前驱气体分子的数目；(S3)根据连续模型，考虑刻蚀，建立沉积结构生长速率和前驱气体分子数目的函数关系；(S4)建立连续元胞自动机元胞空间，根据实际情况进行元胞种类，占有量的分配及初始化；(S5)建立元胞自动机中，元胞占有量，种类的更新函数，沉积结构轮廓元胞的捕捉函数；(S6)根据实际加工时间，追踪动态变化的沉积结构轮廓，确定最终轮廓，并与实验结果相比较。本发明具有成本低、效率高的优点，同时具有普适性。