公开/公告号US6113731A
专利类型
公开/公告日2000-09-05
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US19970735444
发明设计人 ZONGYU LI;HONGCHING SHAN;XUE YU QIAN;KUANG-HAN KE;CLAES BJORKMAN;RICHARD PLAVIDAL;BRYAN PU;ROGER LINDLEY;JI DING;MICHAEL WELCH;
申请日1997-01-02
分类号C23F1/02;
国家 US
入库时间 2022-08-22 01:36:14