公开/公告号EP0852389A3
专利类型
公开/公告日2002-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号EP19970310688
发明设计人 PU BRYAN;QIAN XUE YU;LINDLEY ROGER;KE KUANG-HAN;SHAN HONGCHING;LI ZONGYU;DING JI;WELCH MICHAEL;PLAVIDAL RICHARD;BJORKMAN CLAES;
申请日1997-12-31
分类号H01J37/32;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 00:35:58