首页> 外国专利> Method for producing a single-crystalline film of KLN or KLNT

Method for producing a single-crystalline film of KLN or KLNT

机译:制备KLN或KLNT的单晶膜的方法

摘要

A method for producing a single-crystalline film made of a single crystal of lithium potassium niobate-lithium potassium tantalate solid solution or a single crystal of lithium potassium niobate, including the steps of preparing a target made of a material for the single-crystalline film, preparing a foundation made of a single crystal of lithium potassium niobate-lithium potassium tantalate solid solution or a single crystal of lithium potassium niobate, irradiating the target to gasify molecules constituting the target by dissociation and evaporation thereof, and epitaxially growing the single-crystalline film on the foundation.
机译:一种由铌酸锂钾-钽酸钾钾固溶体的单晶或铌酸锂钾单晶制成的单晶膜的制造方法,包括制备由该单晶膜的材料制成的靶的步骤。制备由铌酸锂钾单晶-钽酸钾钾固溶体或铌酸锂钾单晶制成的粉底,照射靶以通过解离和蒸发将构成靶的分子气化,并外延生长该单晶电影的基础上。

著录项

  • 公开/公告号US6447606B2

    专利类型

  • 公开/公告日2002-09-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 NGK INSULATORS LTD.;

    申请/专利号US19990320335

  • 发明设计人 TAKASHI YOSHINO;MINORU IMAEDA;

    申请日1999-05-26

  • 分类号C30B281/20;C30B293/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 00:47:09

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号