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Improved precursors for the metalorganic chemical vapour deposition of group IVB metal oxide thin films

机译:用于IVB族金属氧化物薄膜的金属有机化学气相沉积的改良前体

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号GB0401321D0

    专利类型

  • 公开/公告日2004-02-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 EPICHEM LIMITED;

    申请/专利号GB20040001321

  • 发明设计人

    申请日2004-01-21

  • 分类号C07C239/10;C23C16/40;

  • 国家 GB

  • 入库时间 2022-08-21 22:38:59

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