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机译:用于IVB族金属氧化物薄膜的金属有机化学气相沉积的改良前体
公开/公告号GB0401321D0
专利类型
公开/公告日2004-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 EPICHEM LIMITED;
申请/专利号GB20040001321
发明设计人
申请日2004-01-21
分类号C07C239/10;C23C16/40;
国家 GB
入库时间 2022-08-21 22:38:59
机译: 用于IVB族金属氧化物薄膜的金属有机化学气相沉积的改良前体
机译: 用于IVB族金属硅酸盐薄膜的金属有机化学气相沉积的改良前体