公开/公告号WO2005087654A1
专利类型
公开/公告日2005-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY;ITOH TADASHI;ASHIDA MASAAKI;ISHIHARA HAJIME;IIDA TAKUYA;
申请/专利号WO2005JP04118
申请日2005-03-09
分类号B82B3/00;B01J19/12;H01L29/06;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 22:08:39