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elektronenstrahlverdampfer for vacuum coating equipment

机译:用于真空镀膜设备的电子搅拌器

摘要

The electron beam evaporator, for a vacuum deposition apparatus, has at least one crucible to hold a liner of the material t evaporated.. The liner is held centrally in the crucible (1) by spacers (4) and with a defined gap (5) between the bottom of the liner and the base of the crucible (1). The spacers grip in facing grooves in a positive fit.
机译:用于真空沉积设备的电子束蒸发器至少具有一个坩埚,用以容纳被蒸发的材料的衬里。衬里通过垫片(4)固定在坩埚(1)的中央,并有一定的间隙(5) )在坩埚底部和坩埚底部(1)之间。垫片以形状配合的方式夹紧在面对的凹槽中。

著录项

  • 公开/公告号DE50011094D1

    专利类型

  • 公开/公告日2005-10-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SATIS VACUUM INDUSTRIES VERTRIEBS-AG BAAR;

    申请/专利号DE20005011094T

  • 发明设计人 SIEGRIST BEAT;

    申请日2000-04-10

  • 分类号C23C14/24;C23C14/30;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 21:59:59

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