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Compensating the workfunction of a metal gate transistor for abstraction by the gate dielectric layer

机译:补偿金属栅极晶体管的功函数以通过栅极介电层进行抽象

摘要

A metal gate transistor may include a metal layer over a high dielectric constant dielectric layer. The dielectric layer abstracts electronegativity from said metal layer, altering its workfunction. The workfunction of the metal layer may be set to compensate for the dielectric layer abstraction.
机译:金属栅晶体管可以包括在高介电常数介电层上方的金属层。介电层从所述金属层提取电负性,从而改变其功函数。可以设置金属层的功函数以补偿介电层的抽象。

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