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机译:用于微机械,微结构,纳米机械和纳米结构的方法和设备
公开/公告号US7266998B2
专利类型
公开/公告日2007-09-11
原文格式PDF
申请/专利权人 VICTOR B. KLEY;
申请/专利号US20040981142
发明设计人 VICTOR B. KLEY;
申请日2004-11-03
分类号G01B5/28;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:03:48
机译: 用于微机械,微结构,纳米机械和纳米结构的方法和设备
机译: 用于微机械,微结构,纳米机械和纳米结构的方法和装置