机译:金属有机气化供给装置,金属有机化学汽相沉积装置,金属有机化学汽相沉积方法,气体流量调节器,半导体制造装置以及半导体制造方法
公开/公告号US2007292612A1
专利类型
公开/公告日2007-12-20
原文格式PDF
申请/专利权人 MASAKI UENO;TOSHIO UEDA;TAKAO NAKAMURA;KOICHI ISHIKAWA;KEN TAKAHASHI;OSAMU YASAKU;KAZUO UJIIE;KIKUROU TAKEMOTO;
申请/专利号US20070808960
发明设计人 KIKUROU TAKEMOTO;OSAMU YASAKU;TAKAO NAKAMURA;KOICHI ISHIKAWA;KEN TAKAHASHI;MASAKI UENO;TOSHIO UEDA;KAZUO UJIIE;
申请日2007-06-14
分类号C23C16/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 20:14:33