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机译：单片硅加速度计
公开/公告号AT388408T
专利类型
公开/公告日2008-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 VTI TECHNOLOGIES OY;
申请/专利号AT20030732564T
发明设计人 MAHON GEOFFREY;
申请日2003-06-12
分类号G01P15/18;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;G01P15/12;G01P15/125;H01L29/84;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 20:05:06
机译： 单片硅加速度计
机译： 微加工电容式横向加速度计装置和具有该装置的整体式三轴加速度计
机译： 微加工电容式侧向加速度计和单相，三轴加速度计具有相同的功能
