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TECHNIQUES FOR CHARACTERIZING PERFORMANCE OF TRANSISTORS IN INTEGRATED CIRCUIT DEVICES

机译:集成电路器件中的晶体管性能表征技术

摘要

A method, system and computer program product for characterizing FET transistors in an electronic circuit (IC) device using Performance Screen Ring Oscillator (PSRO) techniques. During PSRO testing, logic and non-logic bias voltages are applied to gate terminals of the being tested FETs to determine process-related variations and the relative strength of N-type and P-type transistors.
机译:一种用于使用性能屏蔽环形振荡器(PSRO)技术表征电子电路(IC)设备中的FET晶体管的方法,系统和计算机程序产品。在PSRO测试期间,将逻辑和非逻辑偏置电压施加到被测FET的栅极端子,以确定与工艺有关的变化以及N型和P型晶体管的相对强度。

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