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机译：多层反射式极紫外石棺罩的制造方法-rohlin e
公开/公告号AT434777T
专利类型
公开/公告日2009-07-15
原文格式PDF
申请/专利权人 INTEL CORPORATION;
申请/专利号AT20040778644T
发明设计人 YAN PEI-YANG;
申请日2004-07-16
分类号G03F7/16;G03F1/14;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 19:24:24
机译： 多层反射极紫外碎石光刻胶掩模坯料的制造方法
机译： 使用极紫外曝光掩模坯料的图案转印方法，极紫外曝光掩模，制造方法以及用于极紫外辐射曝光掩模的极紫外辐射曝光掩模
机译： 用于极端紫外线照射的面膜空白，用于极端紫外线照射的面膜，用于极端紫外线照射的面膜的制造方法以及使用用于极端紫外线照射的面膜的图案转移方法
