公开/公告号US2010084634A1
专利类型
公开/公告日2010-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 HIDENORI GAMO;TOSHIHIRO ANDO;
申请/专利号US20060598680
申请日2006-11-14
分类号H01L51/10;H01M4/86;C23C16/44;B32B5/16;G01N27/26;G01N33/48;H01L31/00;B01J21/18;G03F7/00;B32B37/00;H01L51/52;
国家 US
入库时间 2022-08-21 18:52:03