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机译:用于阴极电弧蒸发或蒸发的阴极以及用于涂覆或注入基底的装置。
公开/公告号BR9816084B1
专利类型
公开/公告日2010-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号BR19989816084
发明设计人 RICHARD P. WELTY;
申请日1998-11-26
分类号C23C14/24;H05H1/24;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/35;H01J23/04;H01J25/50;H01J37/34;
国家 BR
入库时间 2022-08-21 18:47:29
机译: 用于造成由离子或电弧诱发的阴极构成的离子或电弧诱发的蒸发的系统的离子涂覆或注入的装置
机译: 喷涂或电弧蒸发的阴极(替代品)和涂层的涂层或离子束注入设备
机译: 真空电弧蒸发器,用于在基底上涂覆电气,电子或光学金属或金属化合物层,其绝缘阳极的四周均被蒸发的阴极材料包围