首页> 外国专利> Cathode for cathode arc evaporation or evaporation and device for coating or implantation of u00econs substrates.

Cathode for cathode arc evaporation or evaporation and device for coating or implantation of u00econs substrates.

机译:用于阴极电弧蒸发或蒸发的阴极以及用于涂覆或注入基底的装置。

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号BR9816084B1

    专利类型

  • 公开/公告日2010-10-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号BR19989816084

  • 发明设计人 RICHARD P. WELTY;

    申请日1998-11-26

  • 分类号C23C14/24;H05H1/24;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/35;H01J23/04;H01J25/50;H01J37/34;

  • 国家 BR

  • 入库时间 2022-08-21 18:47:29

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