公开/公告号EP1837122B1
专利类型
公开/公告日2009-12-02
原文格式PDF
申请/专利权人 EBARA CORP;
申请/专利号EP20070011957
发明设计人 CHIN SCOTT;DICKEY TANLIN K.;WANG HUEY-MING;MOLONEY GERARD S.;DYSON WILLIAM JR.;GERAGHITY JOH J.;
申请日2000-02-24
分类号B24B37/04;B24B41/06;B24B53/007;B24B49/16;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 18:40:29