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METHOD FOR DETERMINING TIME TO FAILURE OF SUBMICRON METAL INTERCONNECTS

机译:确定亚微米金属互连失效时间的方法

摘要

The present invention is related to a method for determining time to failure characteristics of a microelectronics device, comprising the steps of: providing a test structure, being a parallel connection of a plurality of such on-chip interconnects; performing measurements on the test structure under test conditions for current density and temperature, said test structure being such that failure of one of the on-chip interconnects within the parallel connection changes the test conditions for at least one of the other individual on-chip interconnects of the parallel connection; determining from the measurements time to failure characteristics, whereby the change in the test conditions is compensated for.
机译:本发明涉及一种确定微电子器件的故障时间特性的方法,该方法包括以下步骤:提供测试结构,该测试结构是多个这样的片上互连的并联连接;以及在电流密度和温度的测试条件下在测试结构上执行测量,所述测试结构使得并行连接内的一个片上互连的故障改变了另一个单独的片上互连中至少一个的测试条件并联的;确定从测量时间到故障特征的时间,从而补偿测试条件的变化。

著录项

  • 公开/公告号EP1771743B1

    专利类型

  • 公开/公告日2010-08-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 IMEC;UNIV HASSELT;

    申请/专利号EP20050745292

  • 发明设计人 DECEUNINCK WARD;

    申请日2005-05-11

  • 分类号G01R31/28;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 18:39:09

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