机译:光学调制元件,结晶装置,结晶方法,制造薄膜半导体基板的装置,制造薄膜半导体基板的方法,薄膜半导体装置,薄膜导体装置,方法
公开/公告号JP2011139082A
专利类型
公开/公告日2011-07-14
原文格式PDF
申请/专利权人 SHARP CORP;
申请/专利号JP20110023893
发明设计人 TANIGUCHI YUKIO;MATSUMURA MASAKIYO;AKITA NORITAKA;HIRAMATSU MASAHITO;OGAWA HIROYUKI;JUMONJI MASAYUKI;
申请日2011-02-07
分类号H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;H01L21/268;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:25:28